Mae Offer Dyddodiad Cyfansawdd PVD diwydiannol wedi'i beiriannu ar gyfer gwneuthuriad ffilm tenau aml-gydran, amlhaenog a nano-gyfansoddiadol. Mae'r system yn integreiddio anweddiad thermol, anweddiad pelydr e-, a ffynonellau sputtering magnetron o fewn un amgylchedd gwactod i reoli cyfansoddiad ffilm, eglurder rhyngwyneb, a straen gweddilliol. Wedi'i adeiladu ar gyfer ymchwil a datblygu a chynhyrchu parhaus, mae'r bensaernïaeth yn cynnwys pwysau sylfaen isel, cyfluniad ffynhonnell modiwlaidd, a mynediad cynnal a chadw glân.
Manylebau Technegol
|
Paramedr |
Manyleb Ystod / Gwerth |
|
Pwysedd Gwactod Ultimate |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (cryo/turbomolecular configuration) |
|
Pwmpio-Amser Down |
Atmosfferig i 6.0 x 10^-4 Pa i mewn<= 15 minutes (clean, dry, empty chamber) |
|
Maint deiliad swbstrad |
Ffurfweddiadau personol: hyd at Dia. 600 mm plât gwastad neu gamau planedol |
|
Ffilm Trwch Unffurfiaeth |
< +/- 1.5% across standard working area (verified via in-situ optical monitoring) |
|
Amrediad Tymheredd Swbstrad |
Yn amgylchynol i 800 deg.C (rheoli PID, halogen cwarts / gwresogi gwrthiannol) |
|
Ffynonellau Dyddodiad |
Gynnau trawst aml-boced, cychod thermol, a catodau magnetron RF/DC |
|
Deunydd Siambr |
304L/316L dur gwrthstaen, electro-waliau mewnol caboledig (Ra<= 0.2 um) |
|
Rhyngwyneb Rheoli System |
Pensaernïaeth PLC + IPC, gweithredu ryseitiau awtomataidd, logio SCADA |
Nodweddion Allweddol
Integreiddio Ffynhonnell Modiwlaidd:Mae porthladdoedd siambr yn darparu ar gyfer gweithrediad cydamserol neu ddilyniannol ffynonellau anweddu a chwistrellu heb groeshalogi.
Trin swbstrad deinamig:Mae mecanweithiau gyriant cylchdro planedol neu gylchdro siglen aml-echel yn sicrhau gorchudd cydffurfiol ar swbstradau 3D cymhleth a ffosydd dwfn.
Ym Mhorthladdoedd Monitro-Situ:Flangau wedi'u halinio ymlaen llaw ar gyfer microbalance grisial cwarts (QCM), sbectrosgopeg allyriadau optegol (OES), a monitro optegol band eang (BOM).
Uchel-Cywirdeb Gwactod Purdeb:Ffansau conflat (CF) metel wedi'u selio, falfiau giât niwmatig, a phrofi gollyngiadau sbectromedr màs Heliwm i lawr i 1.0 x 10 ^-10 Pa*m3/s.
Diogelwch Cydgloi Awtomataidd:Mae adborth synhwyrydd amser real yn amddiffyn rhag methiant dŵr oeri, colled aer cywasgedig, ac anomaleddau dros-dymheredd.
Ffurfweddiad System Gwactod
Pympiau Garw a Gwreiddiau:Mae pympiau sgriw sych di-olew wedi'u cyfuno â chwythwyr gwreiddiau yn atal hydrocarbon rhag llifo'n ôl i'r siambr broses.
Pympiau Gwactod Uchel-:Pympiau turbomoleciwlaidd wedi'u codi'n fagnetig neu bympiau cryogenig heliwm dolen gaeedig wedi'u dewis yn ôl gofynion llwyth nwy targed.
Rheoleiddio pwysau:Mae rheolwyr falf throttle sydd wedi'u hintegreiddio â manomedrau cynhwysedd yn cynnal pwysau proses sefydlog (0.1 Pa i 10 Pa) yn ystod rhediadau adweithiol.
Cydnawsedd Deunyddiau a Swbstrad
Deunyddiau Dyddodiad
Metelau:Ti, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Mo, W, Pt
Ocsidau a Dielectrics:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Nitridau a charbidau:TiN, TiAlN, CrN, Si3N4
Deunyddiau swbstrad
Lled-ddargludyddion:Wafferi silicon (100 mm i 300 mm), gwydr, cwarts, saffir
Metelau ac aloion:Dur di-staen, aloion titaniwm, dur offer, uwch-aloi
Serameg a Pholymerau:Alwmina, zirconia, ffilmiau polyimide
Ceisiadau
Hidlau Ymyrraeth Optegol:Cotiadau gwrth-adlewyrchol amlhaenog (AR), hidlyddion bandpass, a -drychau adlewyrchol uchel ar gyfer laserau a synwyryddion.
Gwisgwch{0}}Haenau Caled Gwrthiannol: Haenau nitrid nanogyfansawdd (TiAlN/Si3N4) ar offer torri manwl gywir a threnau falf modurol.
Ffilmiau tenau microelectroneg:Haenau rhwystr dargludol, haenau hadau, a staciau metallization cyswllt ar gyfer pecynnu lled-ddargludyddion.
Ffilmiau Ynni Gweithredol:Ocsidau dargludol tryloyw (TCO) a haenau amsugno ar gyfer dyfeisiau ffotofoltäig a synhwyrydd.
Opsiynau Addasu
Dimensiynau Siambr:Cyfaint graddedig o raddfa ymchwil a datblygu (ciwb 400 mm) i raddfa gynhyrchu (Dia. 1200 mm silindrog).
Gosodiadau Porthladd Ffynhonnell:Lleoliad fflans personol i integreiddio ffynonellau ïon trydydd parti, dyddodiad â chymorth plasma (PAD), neu eneraduron bias RF.
Llwytho-Integreiddio Clo:Llwyth llaw-cloi,-llwyth wafferi-clo, neu ffurfweddiadau offer clwstwr siambr aml- i atal ocsidiad.
Rheoli Ansawdd a Chydymffurfiaeth Fyd-eang
Cydymffurfiaeth Trydanol a Diogelwch Byd-eang:Cypyrddau rheoli wedi'u hadeiladu i ganllawiau UL 508A / NFPA 79 (Gogledd America), CE (Ewrop), a SEMI S2 / S8 EHS.
Profi gwactod:Mae siambrau wedi'u weldio yn cael canfod gollyngiadau sbectromedr màs Heliwm cyn gorffen yr arwyneb.
Arolygiad Dimensiynol:Cydlynu peiriant mesur (CMM) dilysu awyrennau mowntio ffynhonnell a goddefiannau swbstrad.
Prawf Derbyn Ffatri (FAT):72{1}}awr sych parhaus-prawf yn cofnodi pydredd pwysedd sylfaen, cromliniau pwmpio i lawr, a logiau ymateb PLC.
Gosod a Chymorth Technegol
Peirianneg Cyn-Gosod:Darparu llawlyfrau gofynion cyfleuster (cyfleustodau, llif/pwysedd dŵr oeri, awyru gwacáu, llwytho llawr ystafell lân).
Ar-Comisiynu Safle:Mae peirianwyr gwasanaeth maes yn goruchwylio rigio, bachu llinell wactod, clymu trydanol i mewn, a'r pwmp cychwynnol-i lawr.
Cymorth Tiwnio Proses:Mae treial cydweithredol yn rhedeg gyda thimau peirianneg cwsmeriaid i wirio unffurfiaeth ffilm a chyfraddau dyddodi.
Cymorth Cylch Bywyd:Integreiddio modiwl diagnosteg o bell ar gyfer datrys problemau PLC amser real, wedi'i gefnogi gan restr leol o rannau sbâr.
Cwestiynau Cyffredin
C: Beth yw'r amser arweiniol ar gyfer system arferiad?
A: Mae angen 16 i 24 wythnos ar ffurfweddiadau safonol o gymeradwyaeth lluniadu i barodrwydd ffatri, yn dibynnu ar amseroedd arwain pwmp gwactod.
C: Sut mae croeshalogi yn cael ei reoli yn ystod dyddodiad aml-ffynhonnell?
A: Mae siambrau'n ymgorffori cysgodi ffisegol rhwng ffynonellau, caeadau ffynhonnell unigol, a chylchoedd dosbarthu nwy cyfeiriadol i atal mudo gronynnol.
C: A ellir integreiddio'r offer hwn i gyfleuster ystafell lân?
A: Ydw. Mae systemau'n cefnogi trwy-osodiad-wal (ystafell felen / ystafell lân), gosod y siambr broses y tu mewn i'r ystafell lân a rheseli cyfleustodau yn yr helfa gwasanaeth.
C: Pa ofynion cyfleustodau y mae'n rhaid eu paratoi cyn eu danfon?
A: Requirements include 3-phase power (configured to local 480V/380V standards), chilled cooling water (18 deg.C to 22 deg.C, >= 3 bar), aer cywasgedig (6 bar sych/hidlo), a llinell wacáu pwmp garw bwrpasol.
Tagiau poblogaidd: offer dyddodiad cyfansawdd pvd, gweithgynhyrchwyr offer dyddodiad cyfansawdd pvd Tsieina, cyflenwyr, ffatri
