Tsieina Electron Beam Anweddiad Ffilm Tenau Gwneuthurwyr Offer Ffatri Cyflenwyr

Trosolwg Cynnyrch

Mae'r Offer Ffilm Tenau Anweddu Trawst Electron hwn wedi'i beiriannu ar gyfer dyddodiad anwedd corfforol manwl uchel (PVD). Gan ddefnyddio pelydr electron ynni uchel ffocws i beledu deunyddiau ffynhonnell, mae'r system yn cyflawni cyfraddau anweddiad uchel ar gyfer metelau pwynt toddi uchel, ocsidau a deunyddiau deuelectrig.

Wedi'i adeiladu ar bensaernïaeth wactod fodiwlaidd, mae'r system yn cynnwys gynnau electron aml-boced, gosodiadau swbstrad y gellir eu haddasu, ac sydd wedi'u datblygu ym maes-monitro'r sefyllfa. Mae'n gwasanaethu labordai ymchwil a datblygu a llinellau cynhyrchu trwybwn uchel sy'n gofyn am reolaeth lem dros stoichiometreg ffilm, adlyniad, a pherfformiad optegol.

Offer Anweddiad Trawst Electron Gwactod Uchel
Mae System Anweddu Pelydr Electron Gwactod Uchel Cyfres EBE yn dyddodi ffilmiau tenau purdeb uchel ar gyfer cymwysiadau optegol, lled-ddargludyddion a metelegol. Trwy gyfeirio trawst electron â...
gweld mwy
System Dyddodiad Ffilm Tenau Trawst Electron
Mae System Dyddodiad Ffilm Tenau Trawst Electron yn darparu prosesu PVD cyfeiriadol, purdeb uchel ar gyfer ymchwil uwch a chynhyrchu diwydiannol. Gan ddefnyddio pelydr electron â ffocws, wedi'i...
gweld mwy
Offer Anweddu Gwactod Beam Electron
Mae'r System Anweddu Gwactod Trawst Electron hon yn gweithredu dyddodiad anwedd ffisegol (PVD) o fetelau pwynt, ocsidau a deuelectrig sy'n toddi uchel. Trwy gyfeirio pelydr electron â ffocws i...
gweld mwy
Offer Dyddodiad Ffilm Thin Electron Beam
Mae'r system dyddodi pelydr electron diwydiannol hon yn defnyddio gynnau electron â ffocws magnetig (3 kW i 15 kW) i gyfeirio fflwcsau egni dwysedd uchel i mewn i aelwydydd copr wedi'i oeri gan...
gweld mwy
System Ffilm denau Anweddiad Trawst Electron
Mae'r System Anweddu Pelydr Electron Cyfres EBE wedi'i pheiriannu ar gyfer dyddodiad anwedd ffisegol (PVD) o fetelau pwynt - toddi uchel, deuelectrig, a deunyddiau optegol. Trwy ddefnyddio pelydr...
gweld mwy
Offer Ffilm Tenau Anweddiad Trawst Electron
Llwyfan dyddodiad anwedd ffisegol (PVD) diwydiannol ar raddfa ddiwydiannol yw'r gyfres EBE V600 sydd wedi'i dylunio ar gyfer haenau ffilm tenau manwl gywir o gydrannau optegol, dyfeisiau...
gweld mwy

Manylebau Technegol

Paramedr	Amrediad Manyleb	Nodiadau / Ffurfweddiad Safonol
Pwysedd Sylfaenol Ultimate	< 5.0 × 10^-6 Pa	Wedi'i gyflawni trwy grwpiau pwmpio moleciwlaidd cryogenig neu dyrbo
Dimensiynau Siambr	Wedi'i addasu (diamedr mewnol 500 mm i 1200 mm)	304L / 316L dur gwrthstaen, electro-sglein
E-Gun Power Rating	6 kW i 15 kW (Generaduron ysgubiad poced Aml-)	Allwyriad pelydr rhaglenadwy a mynegeio aml-crucible
Cyfradd Dyddodiad	0.1 nm/s i 10 nm/s	Rheolaeth dolen amser real trwy fonitor grisial cwarts
Ffilm Trwch Unffurfiaeth	< ±1% to ±2% across standard substrates	Gosodiad swbstrad planedol neu gromen gyda chylchdroi cyflymder amrywiol
Tymheredd swbstrad	Awyrgylch i 800 gradd	Gwresogi pelydrol integredig gydag adborth thermol PID

Nodweddion Offer Allweddol

Gwn Electron Sefydlogrwydd Uchel-:

Yn cynnwys gwyriad magnetig a ffocws amlbwynt i atal gorboethi lleol o ddeunyddiau ffynhonnell a dileu poeri yn ystod anweddiad adweithiol.

Dyluniad Crwsibl Modiwlaidd:

Wedi'i gyfarparu â 4 i 6-poced aelwydydd mynegeio, gan ganiatáu dyddodion aml-haen heb dorri gwactod.

Cyd-gloi gwactod uwch:

Mae falfiau niwmatig a reolir gan PLC, dilyniannu gwactod awtomataidd/uchel, a chyd-gloeon yn amddiffyn rhag methiant dŵr oeri ac anomaleddau pŵer.

Isel-Siambr Halogiad:

Mae cysgodi mewnol yn defnyddio dur gwrthstaen sgleinio electro gyda leinin symudadwy ar gyfer lleihau gronynnau'n gyflym a gwneud gwaith cynnal a chadw.

Deunyddiau Ffilm a Sbstradau

Deunyddiau Anweddiad Cydnaws

Metelau: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Deuelectrig ac ocsidau: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO

Mathau o swbstrad

Wafferi silicon (2 fodfedd i 12 modfedd)
Gwydr optegol, silica ymdoddedig, a swbstradau cwarts
Ffilmiau polymer hyblyg (polyimide, PET trwy'r gofrestr-i-rholio modiwlau)
Swbstradau ceramig (Al2O3, AlN)

Ceisiadau

High Vacuum Electron Beam Evaporation Equipment

Haenau Optegol:

Cotiadau gwrth-adlewyrchol (AR), hidlwyr band cul, a drychau adlewyrchol uchel ar gyfer systemau laser a ffotoneg.

Electron Beam Thin Film Deposition System

Dyfeisiau Lled-ddargludyddion:

Ffurfio cyswllt ohmig, meteleiddio gatiau, a-godi'r prosesu ar gyfer microelectroneg.

Electron Beam Vacuum Evaporation Equipment

Optoelectroneg:

Haenau ocsid dargludol tryloyw (TCO) a ffilmiau tenau ar gyfer arddangosfeydd OLED a chelloedd ffotofoltäig.

Electron Beam Evaporation Thin Film System

Ymchwil a Datblygu uwch:

Haenau magnetig ffilm tenau archwiliadol, ffilmiau uwch-ddargludol, a heterostrwythurau amlhaenog.

Addasu a Chyfluniad System

Mae pob system ffilm denau wedi'i ffurfweddu i gyd-fynd â ryseitiau proses a chynlluniau cyfleusterau penodol. Mae addasiadau peirianneg sydd ar gael yn cynnwys:

Detholiad Stack Pwmpio:

Cyfluniadau trylediad turbo{0}}pympiau moleciwlaidd (TMP), cryopums, neu olew-wedi'u teilwra i ofynion gwactod sylfaen a thrwybwn.

Llwytho-Integreiddio Clo:

Llwyth â llaw-cloi neu systemau clwstwr amlsiambr awtomataidd i gynnal cywirdeb gwactod tra- a chynyddu trwybwn wafferi.

Yn-Metroleg Situ:

Porthladdoedd integreiddio ar gyfer ellipsomedrau sbectrosgopig, monitorau optegol, neu ddadansoddwyr nwy gweddilliol (RGA).

Meddalwedd Rheoli:

Rhyngwyneb PLC / AEM perchnogol gyda storio ryseitiau, logio data, a phrotocolau cyfathrebu SECS / GEM ar gyfer integreiddio ffatri craff.

Gweithgynhyrchu a Rheoli Ansawdd

01.

Gwneuthuriad Llestr:

Mae pob siambr wactod yn cael prawf gollwng sbectromedr màs heliwm gyda throthwy gwrthod o < 1 × 10^-9 Pa·m³/s.

02.

Uniondeb Weld:

TIG weldio perfformio o dan cysgodi nwy anadweithiol, ddilyn gan passivation wyneb mewnol a sgleinio mecanyddol i leihau outgassing.

03.

Prawf Derbyn Ffatri (FAT):

72-awr parhaus sych-prawf rhediad mesur cromliniau pwmpio, trachywiredd e-gwn ysgubiad, amseroedd ymateb cyd-gloi, a sefydlogrwydd thermol cyn cratio.

04.

Cydymffurfiaeth a Safonau:

Wedi'i gynhyrchu o dan system rheoli ansawdd ardystiedig ISO 9001, gyda systemau wedi'u peiriannu i fodloni cyfarwyddebau CE a chanllawiau diogelwch ac ergonomig SEMI (S2 / S8) perthnasol.

Gosod a Chymorth Technegol

Ar-Comisiynu Safle:

Mae -peirianwyr gwasanaeth ardystiedig ffatri yn ymdrin â lleoli mecanyddol, hookups cyfleustodau (pŵer, dŵr oeri, aer cywasgedig), a phobi gwactod cychwynnol-allan.

Tiwnio Proses:

Mae treial cydweithredol yn rhedeg gan ddefnyddio - swbstradau penodol cwsmeriaid i wirio cyfraddau dyddodiad, unffurfiaeth, ac adlyniad ffilm.

Cynnal a Chadw Cylch Bywyd:

Sicrhawyd bod darnau sbâr ar gael ar gyfer cydrannau traul uchel (ffilamentau, crucibles, tariannau) a chymorth diagnostig o bell trwy gysylltiadau VPN diwydiannol wedi'u hamgryptio.

FAQ

C: Beth yw'r amser arweiniol nodweddiadol ar gyfer cyfluniad system safonol?

A: Mae cyfluniadau safonol yn cael eu cludo o fewn 16 i 20 wythnos ar ôl tynnu cymeradwyaeth. Mae systemau hynod addasedig sydd angen-ffurfweddau clo llwyth arbennig neu geometreg siambr ansafonol yn amrywio o 24 i 30 wythnos.

C: Sut ydych chi'n atal croeshalogi deunydd rhwng gwahanol anweddyddion?

A: Mae'r system yn defnyddio pocedi aelwyd wedi'i oeri gan ddŵr unigol wedi'u gwahanu gan rwystrau thermol a ffisegol, ynghyd â phatrymau ysgubo trawst electron wedi'u optimeiddio sy'n cael gwared ar wasgaru deunyddiau.

C: Beth yw'r gofynion cyfleustodau cyfleuster ar gyfer system 10 kW?

A: Requirements typically include 3-phase 380V/480V AC power, closed-loop chilled water supply (10–15°C, flow rate >30 L/munud), ac aer cywasgedig sych (0.6-0.8 MPa) ar gyfer falfiau niwmatig.

Rydyn ni'n cael ein hadnabod yn dda fel un o'r prif wneuthurwyr a chyflenwyr offer ffilm tenau anweddu trawst electron yn Tsieina. Os ydych chi'n mynd i brynu offer ffilm tenau anweddiad trawst electron wedi'i addasu a wnaed yn Tsieina, croeso i gael pricelist o'n ffatri. Am ymgynghoriad pris, cysylltwch â ni.