China Ion{0}}Anweddiad â Chymorth Ffilm Tenau Ffatri Cyflenwyr Cynhyrchwyr

Trosolwg Cynnyrch

Mae'r IAE{0}}Cyfres Ion-Anweddiad â Chymorth Offer Ffilm Thin yn integreiddio dyddodiad anwedd corfforol (PVD) â peledu pelydr ïon amser real. Trwy gyfeirio ïonau egniol i'r swbstrad yn ystod anweddiad pelydr thermol neu electron, mae'r system yn trosglwyddo momentwm i'r adatomau cyddwyso, gan ailstrwythuro microstrwythur y ffilm sy'n tyfu.

Mae'r trosglwyddiad egni cinetig hwn yn dileu bylchau colofnol, yn atal amsugno lleithder, ac yn cloi'r mynegai plygiannol yn erbyn sifftiau lleithder amgylchynol. Wedi'i adeiladu ar gyfer gweithrediad aml-sifftiau parhaus mewn llinellau cynhyrchu optegol a lled-ddargludyddion, mae'r platfform yn trin swbstradau sy'n amrywio o opteg laser manwl uchel i wafferi silicon.

Ion{0}}Offer Anweddiad Gwactod â Chymorth
Mae'r System Anweddiad Gwactod Ion{0}A Gynorthwyir yn integreiddio-gwactod uchel-ffynonellau anweddiad pelydriad thermol neu electron{-â ffynhonnell ïon Kaufman neu End-Hall. Trwy beledu'r ffilm...
gweld mwy
ion-System Dyddodi Ffilm Tenau â Chymorth
Mae'r System Dyddodiad Ffilm Tenau Ion{0}A Gynorthwyir yn integreiddio anweddiad aml-poced electron-beam/thermol gyda-Diwedd perfformiad uchel-Hall or Kaufman-ffynhonnell ïon fath. Yn ystod...
gweld mwy
Offer Anweddu â Chymorth i Beam Ion
Mae system IBAE yn cyfuno anweddiad pelydr electron neu thermol gyda ffynhonnell ïon pelydr eang integredig. Mae peledu ïon ar yr un pryd yn ystod twf ffilm yn trosglwyddo egni cinetig i adatomau...
gweld mwy
Ion{0}}Offer Dyddodi Ffilm Tenau â Chymorth
Mae'r IA{0}}Series Ion-Assisted Thin Film Deposition Deposition Equipment yn integreiddio anweddiad thermol pelydr electron gyda ffynhonnell ïon Kaufman neu End-Hall. Mae peledu ïon egnïol...
gweld mwy
Ion-System Ffilm Tenau Anweddu â Chymorth
Mae'r System Ffilm Tenau Anweddu â Chymorth Ion-(IAE) yn integreiddio dyddodiad anwedd ffisegol (PVD) â peledu pelydr ïon egnïol. Yn ystod anweddiad pelydr thermol neu electron, mae ffynhonnell...
gweld mwy
Ion-Offer Ffilm Tenau Anweddu â Chymorth
System ddiwydiannol -gradd Ion-System Anweddiad â Chymorth (IAE) sy'n integreiddio anweddiad trawst aml--poced electron- gyda ffynhonnell pelydr ïon egnïol (Cyfluniad Diwedd-Hall or Kaufman). Mae...
gweld mwy

Manylebau Technegol

Paramedr	Manyleb
Pwysedd Sylfaenol Ultimate	< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping)
Ffynonellau Anweddu	Gwn trawst aml-boced E- (4 × 15cc i 40cc) a ffynonellau thermol gwrthiannol
Math Ffynhonnell Ion	Diwedd Di-grid-Hall / Kaufman-math o ffynhonnell ïon (foltedd trawst: 50 – 1500 V, cerrynt ïon: 0.1 – 3 A)
Rheoli Trwch Ffilm	Microbalance grisial cwarts (QCM) + System fonitro optegol (OMS), manwl gywirdeb ± 0.1 nm
Gosodiad swbstrad	Gosodiad cylchdro planedol, radiws cromen wedi'i addasu i geometreg swbstrad
Gwresogi swbstrad	Arae gwresogydd radiant, hyd at 350 gradd gydag unffurfiaeth PID ± 2 radd
Pensaernïaeth Reoli	PLC + PC Diwydiannol, gweithredu ryseitiau awtomataidd, logio data sy'n cydymffurfio â SECS/GEM

ion-Proses Dyddodi a Gynorthwyir

Cynhyrchu anwedd:

Mae deunydd yn cael ei anweddu o'r e-crowsibl pelydryn neu gwch thermol ar gyfraddau dyddodi rheoledig (0.1 – 2.0 nm/s).

Trosglwyddo Momentwm:

Mae ïonau egniol (Ar⁺, O⁺) yn peledu arwyneb y swbstrad ar yr un pryd â'r fflwcs anwedd sy'n cyrraedd o'r pelydr E neu'r ffynhonnell thermol.

Addasiad Microstrwythur:

Mae effaith ïon yn gwella symudedd wyneb adatom, gan atal tyfiant grawn colofnog a chyflawni dwysedd swmp agos (dwysedd pacio > 99%).

Cywiriad Stoichiometry:

Mae cymorth ïon adweithiol (O₂) yn sicrhau ocsidiad cyflawn o is-ocsidau mewn ffilmiau metel ocsid (ee, Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂), gan ddileu bandiau amsugno yn y sbectrwm UV-NIR.

Deunyddiau Ffilm

Ocsidau:

SiO₂, Ta₂O₅, TiO₂, Nb₂O₅, HfO₂ (Sefydliad mynegai plygiannol uchel ar gyfer hidlwyr optegol).

Fflworidau:

MgF₂, LaF₃ (Haenau mynegai plygiannol isel ar gyfer haenau AR band eang).

Metelau:

Al, Ag, Au, Ti (Haenau adlyniad ac adlewyrchyddion metelaidd).

Ceisiadau

Opteg Laser a Manwl:

Hidlyddion bandpass, drychau deucroig, a haenau amddiffynnol laser sy'n gofyn am drothwy difrod uchel a achosir gan laser (LIDT) a dim newid sbectrol o dan straen thermol.

Gwydr Clawr LiDAR:

Ffilmiau tenau gwrth{0}}adlewyrchol (AR) a gwrth-baeddu gwydn sy'n gallu gwrthsefyll hindreulio garw yn yr awyr agored.

Pecynnu lled-ddargludyddion:

Haenau mewngapsiwleiddio rhwystr lleithder a phadiau cyffwrdd metel wedi'u dyddodi ar dymheredd swbstrad isel.

Synwyryddion Biofeddygol:

Gorchuddion ymyrraeth optegol biocompatible ar gyfer sglodion microhylifol diagnostig.

Addasu

Mae siambrau a chynlluniau mewnol wedi'u peiriannu i olion traed gweithgynhyrchu penodol a gofynion proses:

01.

Dimensiynau Siambr:

Gellir ei raddio o unedau ymchwil a datblygu R=600 mm i systemau cynhyrchu capasiti R=1200 mm o uchder.

02.

Pecynnau Pwmpio:

Gellir ei ffurfweddu gyda phympiau turbomoleciwlaidd Maglev, cryopumps, a llinellau cefnogi chwythwr Roots yn seiliedig ar ofynion llwyth nwy.

03.

Integreiddio Ffynhonnell:

Ffurfweddiadau ffynhonnell ïon deuol neu osodiadau dyddodiad ar y cyd ar gyfer ffilmiau graddiant aloi cymhleth ac amlhaenog.

04.

Lefel Awtomatiaeth:

Integreiddio â systemau trosglwyddo swbstrad ystafell lân awtomataidd (offer clwstwr EFEM / gwactod).

Rheoli Ansawdd

Canfod Gollyngiadau:

Mae pob siambr wactod yn cael ei phrofi-gollyngiad heliwm gan ddefnyddio sbectromedr màs (cyfradd gollwng < 1.0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).

Olrhain Cydran:

Falfiau gwactod, rheolwyr llif màs (MFCs), a chyflenwadau pŵer sy'n dod o frandiau diwydiannol Haen-1 cymwys (MKS, Inficon, TAW).

Prawf Derbyn Ffatri (FAT):

Rhedeg{0}}profion yn gwirio pwysedd sylfaen, cromlin bwmpio, sefydlogrwydd ffynhonnell, a dygnwch siambr wag barhaus 24-awr cyn ei anfon.

Dilysiad Mesureg:

Rhediadau sampl wedi'u gwirio trwy sbectroffotomedr (trosglwyddiad / adlewyrchiad) a microsgopeg grym atomig (garwedd yr wyneb Ra < 0.5 nm).

Gosod a Chymorth Technegol

Canllaw Paratoi Safle:

Darperir gofynion cyfleustodau cynhwysfawr cyn eu danfon (llif/pwysau dŵr oeri, aer cywasgedig ystafell lân, dosbarthiad pŵer, awyrell ecsôst).

Comisiynu un contractwr:

Mae peirianwyr gwasanaeth maes yn trin cydosod mecanyddol, pobi dan wactod, graddnodi pelydr ïon, a llofnodi rysáit proses gychwynnol-ar-safle.

Hyfforddiant Gweithredwyr:

Hyfforddiant ymarferol strwythuredig sy'n cwmpasu cynnal a chadw arferol, diogelwch gwactod, gweithredu meddalwedd a datrys problemau.

Cymorth Cylch Bywyd:

Rhyngwyneb diagnostig o bell ar gyfer datrys problemau meddalwedd cyflym; stoc ranbarthol o eitemau traul critigol (ffilamentau, crucibles, tariannau) yn cael eu hanfon o fewn 48 awr.

FAQ

C: Sut mae cymorth ïon yn atal newid sbectrol mewn hidlwyr optegol?

A: Mae anweddiad thermol confensiynol yn gadael bylchau microsgopig yn y ffilm, sy'n amsugno lleithder amgylchynol, gan newid y trwch ffisegol a'r mynegai plygiannol. Mae peledu ïon yn cynyddu dwysedd pacio ffilm uwchlaw 99%, gan selio'r microstrwythur yn erbyn treiddiad lleithder a chloi paramedrau optegol yn sefydlog ar draws amgylcheddau lleithder amrywiol.

C: Beth yw'r cyfwng cynnal a chadw nodweddiadol ar gyfer y grid ffynhonnell ïon?

A: Yn dibynnu ar nwyon proses (Ar vs. adweithiol O₂) a phŵer gweithredu, mae angen cynnal a chadw grid bob 150 i 300 o oriau prosesu. Diwedd Grid{4}}Mae cynlluniau neuadd yn ymestyn ffenestri gweithredol yn sylweddol trwy ddileu gridiau ffisegol yn amodol ar draul sputtering.

C: A all yr offer hwn integreiddio ag awtomeiddio ffatri presennol?

A: Ydw. Mae'r meddalwedd rheoli yn cefnogi protocolau SECS/GEM ac OPC AU, gan ganiatáu cysylltiad uniongyrchol â Systemau Cyflawni Gweithgynhyrchu (MES) ar gyfer rheoli ryseitiau ac olrhain lot.

Rydyn ni'n cael ein hadnabod yn dda fel un o'r prif wneuthurwyr a chyflenwyr offer ffilm tenau anweddu â chymorth ïon yn Tsieina. Os ydych chi'n mynd i brynu offer ffilm tenau anweddiad â chymorth ïon wedi'i addasu a wnaed yn Tsieina, croeso i gael pricelist o'n ffatri. Am ymgynghoriad pris, cysylltwch â ni.