Tsieina Anweddiad Arc Ffilm Tenau Gwneuthurwyr Offer Ffatri Cyflenwyr

Trosolwg Cynnyrch

Mae'r System Anweddu Arc Cathodig Ddiwydiannol yn lwyfan cynhyrchu-graddfa dyddodiad anwedd ffisegol (PVD) sydd wedi'i beiriannu ar gyfer dyddodi haenau caled sy'n gwrthsefyll traul, yn gallu gwrthsefyll cyrydiad a- isel. Trwy ddefnyddio arcau trydanol cyfredol foltedd isel, uchel, mae targedau cathod solet yn cael eu hanweddu a'u hïoneiddio ar unwaith yn y fan a'r lle catod, gan gynhyrchu plasma metel hynod ïoneiddiedig.

Wedi'i dylunio a'i gweithgynhyrchu o dan safonau rheoli ansawdd ISO 9001 a chyfarwyddebau cydymffurfio CE, mae'r system hon wedi'i ffurfweddu ar gyfer gweithrediadau cotio trwybwn uchel mewn gweithgynhyrchu offer, cydrannau modurol, a sectorau caledwedd diwydiannol. Mae ffurfweddiadau safonol yn integreiddio gosodiadau aml-gatod gyda llywio maes magnetig annibynnol, cyflenwadau pŵer rhaglenadwy DC/rhagfarn pwls, a rheolaeth gwactod awtomataidd i gynnal stoichiometreg ffilm gyson a microstrwythurau trwchus.

System Ffilm denau Anweddiad Arc
Mae'r System Ffilm Tenau Anweddu Arc Cathodig Ddiwydiannol wedi'i pheiriannu ar gyfer dyddodiad cyfradd uchel o haenau cyfansawdd metelaidd, aloi a seramig trwchus sy'n glynu'n gryf. Gan weithredu...
gweld mwy
Offer PVD Anweddiad Arc
Mae'r system PVD anweddu arc cathodig diwydiannol yn defnyddio arcau trydan cyfredol foltedd isel, uchel i anweddu targedau catod solet mewn amgylchedd gwactod. Mae'r mecanwaith hwn yn cyflawni...
gweld mwy
System Ffilm Thin Arc Gwactod
Mae'r System Ffilm Tenau Arc Gwactod Diwydiannol yn defnyddio anweddiad arc cathodig i adneuo ffilmiau tenau metelaidd, aloi a seramig trwchus, cydlynol iawn. Mae arc foltedd uchel, cyfredol, isel...
gweld mwy
Offer Cathodic Arc Thin Film
System dyddodiad anwedd corfforol (PVD) sy'n defnyddio arcau trydan cyfredol foltedd isel, uchel lleol i anweddu targedau catod solet yn blasma wedi'i ïoneiddio'n llawn. Mae'r gyfradd ïoneiddiad...
gweld mwy
Offer Dyddodiad Anweddiad Arc
Llwyfan dyddodiad anwedd ffisegol (PVD) diwydiannol wedi'i gynllunio ar gyfer synthesis cyfradd uchel o haenau caled trwchus, sy'n gwrthsefyll traul ac sy'n gweithio. Mae cynnal gollyngiad arc...
gweld mwy
Offer Ffilm tenau Anweddiad Arc
Mae'r system anweddu arc cathodig hon yn anweddu targedau cathod solet trwy arc trydanol cyfredol foltedd isel, uchel i gynhyrchu plasma metel wedi'i ïoneiddio'n llawn. O'i gymharu ag anweddiad...
gweld mwy

Manylebau Technegol

Paramedr	Amrediad Manyleb / Ffurfweddiad Safonol
Dimensiynau Siambr	Diamedr: 800 mm - 1800 mm (Cynlluniau fertigol/llorweddol y gellir eu haddasu)
Deunydd Siambr	-dur gwrthstaen SUS304 â waliau dwbl gyda sianeli oeri dŵr mewnol
Pwysedd Gwactod Ultimate	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)
Ffurfweddiad Cathod	4 i 12 ffynhonnell arc hirsgwar / cylchol gyda llywio electromagnetig
Cyflenwad Pŵer Arc	300A - 500Cerrynt cyson addasadwy, crychdonni<= 2%
Pŵer Bias swbstrad	0 i -1000V addasadwy, amledd rhagfarn pwls 10 kHz - 100 kHz
System Gwresogi	Arae gwresogydd pelydrol, tymheredd uchaf o 600 gradd +/- 5 gradd unffurfiaeth
Cylchdro Workpiece	Cylchdro echel planedol neu ddeuol wedi'i yrru gan borthiant hylif magnetig
System Reoli	PLC + Industrial PC, rysáit-rheoli dilyniant awtomataidd wedi'i yrru
Gofynion Cyfleustodau	Dŵr oeri: 0.25-0.35 MPa, 20-25 gradd; Pwer: 380V / 480V, 3-cyfnod, 50/60 Hz

Proses Anweddiad Arc

Mae'r cylch dyddodiad yn gweithredu o dan reolaeth weithdrefnol lem i warantu cyfanrwydd ffilm ac adlyniad rhyngwyneb:

Gwacau a mynd allan:

Mae'r siambr gwactod yn cael ei bwmpio i lawr i'r pwysedd sylfaenol. Mae swbstradau yn cael eu gwresogi o dan wactod i ddileu anweddolion arwyneb a lleithder gweddilliol.

Ysgythriad Plasma (Glanhau):

Mae bomio ïon metel (gan ddefnyddio ffynonellau targed titaniwm neu gromiwm) yn glanhau wyneb y swbstrad ar lefel atomig, gan ddileu ocsidau brodorol ac actifadu'r rhyngwyneb.

Dyddodiad adweithiol:

Mae nwyon adweithiol (N2, CH4, O2) yn cael eu chwistrellu i'r siambr trwy reolwyr llif màs (MFCs) i adweithio â'r fflwcs plasma metel (ee, Ti, Cr, AlTi), gan ffurfio ffilmiau cyfansawdd fel TiN, TiAlN, neu CrN.

Oeri ac Awyru:

Mae oeri dyddodiad postio yn digwydd o dan awyrgylch nwy anadweithiol amddiffynnol cyn awyrellu'r siambr ac adalw rhannol.

Deunyddiau Ffilm a Sbstradau

Targedau Cathod a Gefnogir
Titaniwm (Ti) ac Alwminiwm Titaniwm (TiAl):Deunyddiau sylfaen ar gyfer haenau TiAlN safonol ac ocsidiad -uchel -gwrthedd (er gwaethaf ocsidiad hyd at 900 gradd ).

Cromiwm (Cr):Fe'i defnyddir ar gyfer gorffeniadau addurniadol a-haenau CrN/CrC sy'n gwrthsefyll cyrydiad.

Zirconium (Zr) a Titaniwm Silicon (TiSi):Wedi'i gymhwyso ar gyfer ffilmiau nanogyfansawdd addurnol ac eithafol sy'n gwrthsefyll traul.

Deunyddiau Swbstrad Cydnaws
-Dur Cyflymder Uchel (HSS):Driliau troi, melinau diwedd, hobiau, a broaches.

Carbides Cement (WC-Co):Mewnosodiadau mynegadwy, reamers, a ffurfio yn marw.

Dur ac aloion peirianneg:Cydrannau falf modurol, gerau, caledwedd glanweithiol dur di-staen, a mewnblaniadau meddygol titaniwm.

Ceisiadau ac Effaith Perfformiad

Offer torri metel:

Dyddodi haenau TiAlN ac AlCrN ar fewnosodiadau carbid a melinau diwedd, gan ymestyn oes offer 200% i 300% a galluogi peiriannu cyflymder uchel sych.

Ffurfio a Stampio Marw:

Cymhwyso haenau ffrithiant trwchus, isel-i leihau traul adlyn, carlamu, a sticio darn gwaith yn ystod lluniadu dwfn, gan leihau amser segur hyd at 40%.

Tren Pwer Modurol:

Trin modrwyau piston, pinnau chwistrellu tanwydd, a thapiau i leihau cyfernod ffrithiant terfyn hyd at < 0.15 ac atal traul difa.

Caledwedd Diwydiannol a Faucet Glanweithdra:

Haenau PVD addurniadol caled (aur TiN, aur rhosyn, zirconium du) gan basio prawf chwistrellu halen niwtral o leiaf 500 awr (ASTM B117).

Addasu a Ffurfweddu Proses

Graddfa cynlluniau offer yn ôl cyfaint cynhyrchu, geometreg rhannol, ac ôl troed ffatri:

Geometreg y Siambr:

Strwythurau llwytho fertigol ar gyfer offer trwm; ffurfweddiadau swp llorweddol ar gyfer llwytho gosodiadau gallu uchel.

Integreiddio Ffynhonnell:

Ffurfweddiadau hybrid sy'n cyfuno ffynonellau arc cathodig â chathodau sputtering magnetron anghytbwys (RMS) i adneuo pensaernïaeth amlhaenog llyfn, di-haen{0}.

Systemau hidlo:

Hidlwyr macroronynnau magnetig dewisol (hidlwyr arc wedi'u llywio) wedi'u gosod ar sianeli catod i ddileu-defnynnau macro ar gyfer haenau swyddogaethol trachywiredd optegol neu ultra-llyfn.

Rhyngwyneb awtomeiddio:

Integreiddio{0}}yn barod ar gyfer breichiau llwytho robotig a llwyfannu swp cerbydau tywys awtomataidd (AGV).

Gweithgynhyrchu a Rheoli Ansawdd

Cywirdeb Strwythurol:Mae cyrff siambr yn cael profion gollwng sbectromedr màs Heliwm ar drothwy sensitifrwydd o<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.

Diogelwch Trydanol a Chydymffurfiaeth:Wedi'i adeiladu'n llym i ganllawiau diogelwch trydanol CE ac IEC, sy'n cynnwys profion inswleiddio llawn a chyd-gloi diogelwch brys.

Rhedeg Swyddogaethol-i ffwrdd (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / mewnoliad Rockwell HF1-HF2) yn cael eu gwirio ar gwponau prawf safonol cyn eu hanfon.

Gosod a Chymorth Technegol

Pecyn Paratoi Safle:

Lluniadau cynllun cyfleustodau cynhwysfawr yn manylu ar gyfraddau llif dŵr oeri, awyru ecsôsts, cynhwysedd llwyth llawr, a manylebau gollwng trydan wedi'u darparu 4 wythnos ar ôl-contract.

Ar-Comisiynu Safle:

Mae peirianwyr prosesau ardystiedig ffatri yn trin aliniad mecanyddol, canfod gollyngiadau gwactod, integreiddio trydanol, a gosod rysáit llinell sylfaen gychwynnol yn y cyfleuster cleient.

Trosglwyddo Rysáit Proses:

Mae'r ddarpariaeth yn cynnwys ryseitiau sylfaenol safonol (TiN, TiAlN, CrN) a hyfforddiant gweithredol ar gyfer timau cynnal a chadw mewnol a pheirianneg.

Cymorth Diagnostig o Bell:

Systemau sydd â phyrth llwybrydd diwydiannol diogel ar gyfer datrys problemau paramedr o bell a diagnosteg rhesymeg PLC.

FAQ

C: Sut mae'r system yn rheoli cynhyrchu macroronynnau (defnyn) sy'n gynhenid i anweddiad arc?

A: Mae'r offer yn defnyddio coiliau llywio maes magnetig addasadwy i symud y smotyn arc catod yn gyflym ar draws yr arwyneb targed, gan leihau amser preswylio a gollwng defnynnau. Ar gyfer cymwysiadau sydd angen gorffeniadau llyfn iawn, mae modiwlau arc wedi'u hidlo opsiynol yn gwyro'r plasma metel yn fagnetig oddi wrth facroronynnau cyn cyrraedd y swbstrad.

C: Beth yw'r gyfradd defnyddio targed nodweddiadol ar gyfer y cyfluniad catod safonol?

A: Mae catodau crwn a hirsgwar safonol yn cyflawni cyfradd defnyddio deunydd targed o 40% i 55%, yn dibynnu ar broffil y maes magnetig a'r trwch targed. Mae ailosod targed wedi'i ddiogelu'n fecanyddol gyda mecanweithiau clampio cyflym i leihau amser segur cynnal a chadw.

C: A ellir integreiddio'r offer hwn i linell gynhyrchu awtomataidd bresennol?

A: Ydw. Mae pensaernïaeth reoli PLC yn cefnogi protocolau cyfathrebu SECS/GEM ac ysgwyd llaw I/O digidol safonol i'w hintegreiddio â llinellau glanhau awtomataidd a chelloedd llwytho robotig.

C: Beth yw'r amser arweiniol safonol ar gyfer cyfluniad siambr arferol?

A: Mae systemau swp fertigol safonol yn gofyn am 16 i 22 wythnos o gymeradwyaeth tynnu i brofion derbyn ffatri (FAT), yn dibynnu ar fanylebau grŵp pwmpio wedi'u haddasu a threfniadau cyflenwad pŵer.

Rydyn ni'n cael ein hadnabod yn dda fel un o'r prif wneuthurwyr a chyflenwyr offer ffilm tenau anweddu arc yn Tsieina. Os ydych chi'n mynd i brynu offer ffilm tenau anweddiad arc wedi'i addasu a wnaed yn Tsieina, croeso i gael pricelist o'n ffatri. Am ymgynghoriad pris, cysylltwch â ni.