System Dyddodiad Ffilm Tenau Trawst Electron

Mae System Dyddodiad Ffilm Tenau Trawst Electron yn darparu prosesu PVD cyfeiriadol, purdeb uchel ar gyfer ymchwil uwch a chynhyrchu diwydiannol. Gan ddefnyddio pelydr electron â ffocws, wedi'i lywio'n fagnetig, wedi'i gyfeirio at ddeunydd ffynhonnell y tu mewn i grwsibl copr wedi'i oeri â dŵr, mae'r system yn cyflawni anweddiad thermol metelau anhydrin, ocsidau a chyfansoddion deuelectrig heb halogiad crucible.

Wedi'i pheiriannu ar gyfer integreiddio ystafelloedd glân, mae'r bensaernïaeth yn cyfuno siambrau gwactod modiwlaidd, gynnau trawst aml-boced E, ac awtomeiddio prosesau dolen gaeedig i reoli trwch ffilm, stoichiometreg, a miniogrwydd rhyngwynebol.

Gwyriad Magnetig 270 Gradd:Yn plygu'r taflwybr electronau i gysgodi'r ffilament allyrrydd rhag fflwcs anwedd uniongyrchol, gan ymestyn oes weithredol a sefydlogi cerrynt allyriadau.

Rheolaeth Ysgubo Digidol:Mae patrymau trawst rhaglenadwy yn dileu twnelu crwsibl lleol ac yn cynnal defnydd unffurf o ddeunydd ar draws aelwydydd -pocedi lluosog.

Wedi cau-Rheoliad QCM Dolen:Mae adborth synhwyrydd deuol yn addasu allbynnau cyflenwad pŵer yn ddeinamig i sefydlogi cyfraddau dyddodiad ac atal drifft stoichiometreg aloi.

Pensaernïaeth Cyd-gloi PLC:Monitro amser real o lif dŵr oeri, ynysu foltedd uchel, seliau drws, a phwysau llinell flaen i ddiogelu gweithredwyr a chyfanrwydd gwactod.

Porthladdoedd Dyddodiad Ategol:Mae pwyntiau mynediad fflans yn cefnogi integreiddio eilaidd, gan gynnwys cychod thermol, gynnau ïon griddedig dyddodiad â chymorth ïon (IAD), a chathodau sputtering magnetron.

Llwyfan garw:Mae pwmp sgrolio rhydd olew wedi'i baru â chwythwr gwreiddiau yn cyflawni dirgryniad-ynysu wedi'i arwahanu i lawr i 10^-2 Torr, gan ddileu ôl-ffrydio hydrocarbon.

Uchel-Llwyfan Gwactod:Pwmp turbomoleciwlaidd (1200 L/s i 2200 L/s) wedi'i gefnogi gan fagl cryogenig, sy'n cynnal pwysau proses weithredol rhwng 10 ^-6 a 10 ^-4 Torr.

Adeiladu Siambr:Dwbl-O-wedi'i selio'n gylch, wedi lleddfu straen-dur gwrthstaen 304L gydag arwynebau mewnol wedi'u electrosgleinio i leihau faint o nwyon llosg a chadw lleithder.

Deunyddiau Dyddodiad Cydnaws
Metelau anhydrin:Titaniwm (Ti), Cromiwm (Cr), Tantalum (Ta), Molybdenwm (Mo), Twngsten (W), Platinwm (Pt), Aur (Au).

Deuelectrig ac ocsidau:Silicon Deuocsid (SiO2), Titanium Deuocsid (TiO2), Tantalum Pentoxide (Ta2O5), Alwminiwm Ocsid (Al2O3), Hafnium Deuocsid (HfO2).

Swbstradau Cydnaws
Wafferi lled-ddargludyddion (Si, GaAs, InP, 2-modfedd i 8-modfedd).

Bylchau gwydr optegol, cwarts, silica ymdoddedig, a ffenestri saffir.

Ffoils metel hyblyg a swbstradau ceramig (Al2O3).

Gwneuthuriad Lled-ddargludyddion:Dyddodiad cyswllt clwyd metel, haenau rhwystr, a chodi -cyrntiau meteleiddio ar gyfer ymchwil microelectroneg a llinellau peilot.

Opteg Manwl:Hidlyddion ymyrraeth optegol aml-haen, haenau gwrth-adlewyrchol (AR), drychau laser adlewyrchiad uchel, a holltwyr trawstiau.

Optoelectroneg:Electrodau dargludol tryloyw a -haenau ffilm tenau ar gyfer arddangosiadau OLED, ffotosynwyryddion, a chelloedd solar.

Deunyddiau Uwch:Twf aloi magnetig, rhagsylweddion uwch-ddargludyddion, a -haenau amddiffynnol sy'n gwrthsefyll traul.

Dimensiynau Siambr:Cyfeintiau fertigol neu lorweddol wedi'u graddio i ffitio gosodiadau diwydiannol ansafonol neu baneli arwynebedd mawr.

Cyd-Gosodiadau Anweddiad:Integreiddio gynnau trawst E lluosog a chelloedd allrediad thermol ar gyfer synthesis aloi cymhleth.

Llwytho-Integreiddio Clo:breichiau trosglwyddo llinellol â llaw neu awtomataidd i gynnal cywirdeb gwactod uchel yn ystod llwytho afrlladen trwybwn uchel.

Integreiddio Meddalwedd:Protocolau arfer SCADA sy'n cefnogi golygu ryseitiau, logio archwiliadau, a safonau awtomeiddio ffatri SECS / GEM.

Canfod Gollyngiad Heliwm:Mae profion sbectromedr màs yn sicrhau bod cyfraddau gollwng weldio siambr yn parhau i fod yn is na 1 x 10 ^ -9 atm * cm3/sec.

Dilysiad Trydanol:Profion insiwleiddio foltedd uchel, gwiriadau parhad tir, a dilysu ymateb cyd-gloi fesul codau diogelwch diwydiannol.

Prawf Derbyn Ffatri (FAT):72-awr llosgi gweithredol parhaus yn cofnodi cromliniau gwactod eithaf, sefydlogrwydd allyriadau gwn, a gweithredu ryseitiau awtomataidd cyn eu cludo.

Canllaw Gosod Cyn-:Dogfennaeth fanwl yn ymdrin â-dolenni dŵr oer wedi'u cau, awyru gwacáu, gofynion llwyth trydanol (3-cham 380V/480V), a llwytho llawr ystafell lân.

Comisiynu Maes:Lleoli mecanyddol ar y safle, clymu llinell wactod-ins, bachau trydanol, a graddnodi gwaelodlin a weithredir gan beirianwyr gwasanaeth ffatri.

Hyfforddiant Gweithredol:Cyfarwyddiadau ymarferol yn ymwneud â gosod ffilament newydd, ail-lwytho crysadwy, graddnodi QCM, a datrys problemau PLC arferol.