Offer Ysgythru Sych

Offer Ysgythru Sychyn ddatrysiad perfformiad uchel ar gyfer prosesu deunydd manwl gywir ar draws diwydiannau amrywiol. Defnyddio uwchysgythru ïon adweithiol (RIE)technoleg, mae'r offer hwn yn cyflawni ysgythriad digyswllt, gweddillion-heb gemegau hylifol, sy'n ei wneud yn ddelfrydol ar gyfer cymwysiadau sy'n gofyn am gywirdeb lefel micron a chydymffurfiaeth amgylcheddol.

Gallu Ysgythru Anisotropig

• Mae'r system yn cyfuno adweithiau cemegol (rhywogaethau a weithredir â plasma-) â peledu ïon cyfeiriadol, gan alluogi proffiliau ysgythru fertigol manwl gywir. Mae hyn yn hanfodol ar gyfer creu microstrwythurau ar fetelau (ee, dur di-staen, aloion titaniwm), cerameg (Al₂O₃, SiC), a pholymerau (PEEK, PTFE).
• Ysgythru unffurfiaethyn cael ei gynnal o fewn ±5% ar draws swbstradau hyd at 800 mm mewn diamedr, hyd yn oed ar gyfer geometregau cymhleth.

Dyluniad Modiwlaidd a Scalability

• Ffurfweddau ffynhonnell ïon lluosog: Mae'r offer yn cefnogi ffynonellau ïon llinol, cylchol, neu radio-amledd-cyplu, gan ganiatáu prosesu sawl gweithfan ar yr un pryd.
• Paramedrau proses addasadwy: Gellir optimeiddio egni ïon (50–500 eV) a dwysedd plasma (10¹⁰–10¹² cm⁻³) i gydbwyso cyfradd ysgythru (hyd at 30 nm/min) a llyfnder arwyneb (Ra < 0.1 μm).

Gweithrediad Eco-Cyfeillgar

• Dim gwastraff hylif: Yn wahanol i ysgythru gwlyb, mae'r broses sych yn dileu gwaredu cemegol peryglus.
• -dyluniad ynni-effeithlon: Mae'r defnydd pŵer 10 kW 30% yn is na systemau traddodiadol, a rheolir afradu gwres trwy system oeri dŵr pur dolen gaeedig (Yn fwy na neu'n hafal i gyfradd llif 4 m³/h).

Gwell Rheolaeth Proses

• Monitro-amser real: Mae'r system reoli integredig sy'n seiliedig ar PC-yn olrhain lefelau gwactod (pwysedd sylfaenol Llai na neu'n hafal i 5.0×10⁻⁴ Pa), cyfraddau llif nwy, a sefydlogrwydd pelydr ïon.
• Protocolau diogelwch awtomataidd: Mae amddiffyn gorlwytho, ataliad arc, a mecanweithiau cau brys yn sicrhau diogelwch gweithredol.

Perfformiad Cyn- a Postio-Ysgythru

• Cyn-Ysgythru: Gall arwynebau arddangos haenau ocsideiddio, gweddillion organig, neu weadau anwastad, sy'n peryglu adlyniad cotio neu berfformiad swyddogaethol.
• Postio-Ysgythru: Cyflawnir arwyneb glân, rhydd o ddiffygion gyda garwder rheoledig, gan wella prosesau dilynol fel cotio PVD, bondio neu argraffu.

• Opteg: Ysgythru -microstrwythurau adlewyrchol ar lensys a phaneli arddangos.
• Offer Precision: Texturing arwyneb offer a mowldiau i wella ymwrthedd gwisgo.
• Cydrannau ynni newydd: Strwythuro electrodau ar gyfer systemau batri a chelloedd tanwydd.