Mae prif gydrannau peiriant cotio PVD yn cynnwys y rhannau canlynol:
Siambr Gwactod: Mae angen cynnal y broses cotio o dan amodau gwactod uchel. Y Siambr Gwactod yw'r rhan allweddol i gynnal y wladwriaeth wactod uchel yn y siambr. Mae fel arfer yn cael ei wneud o ddur gwrthstaen neu ddeunyddiau eraill sy'n gwrthsefyll cyrydiad, ac mae'r tu mewn yn cael ei drin yn arbennig i osgoi gollyngiadau nwy.
System Cyflenwi Targed: Defnyddir y targed i gynhyrchu ffynhonnell anweddu neu drawst ïon. Mae'r system gyflenwi darged fel arfer yn cynnwys gwresogydd, deiliad targed a synhwyrydd i reoli'r tymheredd targed a chyfradd anweddu'r arwyneb targed.
System Gwresogi Ategol: Mewn rhai achosion arbennig, mae angen gwresogi ychwanegol i wella'r effaith cotio. Yn gyffredinol, mae'r system wresogi ategol yn cynnwys gwresogydd a dyfais rheoli gwresogi, a all ddarparu egni gwresogi ychwanegol.
Gosodiad swbstrad: Fe'i defnyddir i drwsio'r swbstrad sydd i'w orchuddio, fel arfer yn cynnwys ffrâm gosodiad a gosodiad. Dylai'r gêm fod â dargludedd thermol da fel y gellir trosglwyddo'r egni gwresogi yn gyfartal i'r swbstrad.
System wacáu: Fe'i defnyddir i gael gwared ar y nwy yn y siambr wactod i gynnal gradd gwactod uchel. Yn gyffredinol, mae'n cynnwys cyfuniad o bympiau lluosog fel pympiau mecanyddol, pympiau moleciwlaidd a phympiau trylediad.
System Reoli: Fe'i defnyddir i fonitro a rheoli'r broses cotio gyfan. Gan gynnwys rheoli tymheredd, monitro gwactod, rheoli cyfradd anweddu targed, ac ati. Mae gan rai peiriannau cotio PVD datblygedig hefyd systemau rheoli awtomatig i sicrhau cynhyrchiant awtomataidd.
